| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON EINER OXYDSCHICHT AU EINER WASSERSTOFF UMGEBUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60228695(D1) |
申请公布日期 |
2008.10.16 |
| 申请号 |
DE20026028695 |
申请日期 |
2002.04.12 |
| 申请人 |
CREE INC. |
发明人 |
LIPKIN, LORI A.;DAS, MRINAL KANTI |
| 分类号 |
H01L21/316;H01L21/04;H01L21/28;H01L21/314;H01L21/318;H01L29/24;H01L29/78 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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