| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER INTEGRIERTEN SCHALTUNGSANORDNUNG UMFASSEND EINEN HOHLRAUM IN EINER MATERIALSCHICHT, SOWIE EINE DURCH DAS VERFAHREN ERZEUGTE INTEGRIERTE SCHALTUNGSANORDNUNG |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT409398(T) |
申请公布日期 |
2008.10.15 |
| 申请号 |
AT19990945888T |
申请日期 |
1999.07.02 |
| 申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
AIGNER, ROBERT;OPPERMANN, KLAUS-GUENTER |
| 分类号 |
G01P15/08;H04R19/00;G01L9/00;H01L21/3105;H01L21/762;H01L29/84;H04R19/04;H04R31/00 |
主分类号 |
G01P15/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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