发明名称 基于悬臂梁挠度的光纤光栅加速度计
摘要 本发明涉及光纤传感器技术领域,公开了一种基于悬臂梁挠度的光纤光栅加速度计,该光纤光栅加速度计包括:作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳1,具有第一侧壁m、第二侧壁n、第三侧壁p和第四侧壁q;用于测量加速度的光纤光栅2,该光纤光栅2的一端与质量块5固定连接,另一端平行于第一侧壁m穿过所述光纤光栅加速度计第二侧壁n上的孔6并延伸至所述光纤光栅加速度计的外部;一端水平固定于所述光纤光栅加速度计第三侧壁p上的悬臂梁3,用于将振动信号传递给光纤光栅2;固定于所述悬臂梁3另一端的质量块5,用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。本发明提高了光纤光栅加速度计的灵敏度,改进了光纤光栅加速度计的封装工艺。
申请公布号 CN101285846A 申请公布日期 2008.10.15
申请号 CN200710065322.4 申请日期 2007.04.11
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 张文涛;李芳;刘育梁
分类号 G01P15/00(2006.01);B81B7/02(2006.01) 主分类号 G01P15/00(2006.01)
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 代理人 周国城
主权项 1、 一种基于悬臂梁挠度的光纤光栅加速度计,其特征在于,该光纤光栅加速度计包括:作为该光纤光栅加速度计支撑结构的外壳(1),具有第一侧壁(m)、第二侧壁(n)、第三侧壁(p)和第四侧壁(q);用于测量加速度的光纤光栅(2),该光纤光栅(2)的一端与质量块(5)固定连接,另一端平行于第一侧壁(m)穿过所述光纤光栅加速度计第二侧壁(n)上的孔(6)并延伸至所述光纤光栅加速度计的外部;一端水平固定于所述光纤光栅加速度计第三侧壁(p)上的悬臂梁(3),用于将振动信号传递给光纤光栅(2);固定于所述悬臂梁(3)另一端的质量块(5),用于调整光纤光栅加速度计的灵敏度和自振频率。
地址 100083北京市海淀区清华东路甲35号