发明名称 切割方法
摘要 本发明提供一种切割方法,其能立即发现成为刀片破损前兆的刀片弯曲的发生,防止切削刀片的破损于未然。在切割过程中一直读取加工槽(81)的图像数据,在读取到的该加工槽(81)的图像数据的Y轴方向的一个槽边缘(E1)的Y坐标的最大值(Y1max)和另一槽边缘(E2)的Y坐标的最小值(Y2min)的差超过预先设定的阈值的情况下,发出警告,由此,不断地确认作为加工槽(81)的切削加工状态,是否有刀片弯曲所导致的扩展,并同时进行切割,所以能够通过在成为刀片破损前兆的刀片弯曲所发生的时刻立刻发现并发出警告,来事前防止刀片破损。
申请公布号 CN101284400A 申请公布日期 2008.10.15
申请号 CN200810092175.4 申请日期 2008.04.10
申请人 株式会社迪思科 发明人 山本直子
分类号 B28D5/02(2006.01);H01L21/78(2006.01);H01L21/301(2006.01) 主分类号 B28D5/02(2006.01)
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 代理人 陈坚
主权项 1.一种切割方法,其是使用切削装置来进行被加工物的切割的切割方法,上述切削装置具有:卡盘工作台,其保持被加工物;切削构件,其具有对保持在上述卡盘工作台上的上述被加工物实施切削加工的切削刀片;切削水供给构件,其在切削加工时向上述被加工物或上述切削刀片供给切削水;摄像构件,其在上述被加工物和物镜之间的空间中导入有流体的状态下,通过上述物镜对由上述切削构件对上述被加工物实施切削加工而形成的加工槽进行摄像;以及控制构件,其对通过上述摄像构件摄像得到的上述加工槽的图像数据进行处理,在上述切削装置中,在将上述切削构件的轴心方向作为Y轴方向时,上述卡盘工作台能够在与Y轴方向正交的X轴方向上移动,上述切割方法的特征在于,在切割过程中一直读取上述加工槽的图像数据,在读取到的上述加工槽的图像数据的Y轴方向的一个槽边缘的Y坐标的最大值与另一槽边缘的Y坐标的最小值的差超过预先设定的阈值的情况下,发出警告。
地址 日本东京
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