| 发明名称 |
薄膜晶体管基板及其制造方法 |
| 摘要 |
本发明提供一种薄膜晶体管基板及其制造方法。该薄膜晶体管基板包括：一玻璃基板；一形成在该玻璃基板上的半导体层图案，其包括一重掺杂多晶硅图案和一轻掺杂多晶硅图案；一形成在该半导体层图案上的第一栅极绝缘层；一形成在该第一栅极绝缘层上的栅极和公共电容电极，且该栅极和该公共电容电极对应该轻掺杂多晶硅图案。该薄膜晶体管基板制造过程简单。 |
| 申请公布号 |
CN101286515A |
申请公布日期 |
2008.10.15 |
| 申请号 |
CN200710074014.8 |
申请日期 |
2007.04.13 |
| 申请人 |
群康科技（深圳）有限公司;群创光电股份有限公司 |
发明人 |
叶冠华;吴宏基;黄荣龙 |
| 分类号 |
H01L27/12(2006.01);H01L21/84(2006.01);G02F1/1362(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/12(2006.01) |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
1. 一种薄膜晶体管基板，其包括一玻璃基板、一形成在该玻璃基板上的半导体层图案、一形成在该半导体层图案上的第一栅极绝缘层和一形成在该第一栅极绝缘层上的栅极和公共电容电极，其中该半导体层图案包括一重掺杂多晶硅图案和一轻掺杂多晶硅图案，其特征在于：该栅极和该公共电容电极对应该轻掺杂多晶硅图案。 |
| 地址 |
518109广东省深圳市宝安区龙华镇富士康科技工业园E区4栋1层 |
