用于制备通式R<SUB>(4－m－n)</SUB>ACl<SUB>m</SUB>H<SUB>n</SUB>,特别是硅烷的化合物或高纯化合物的方法和装置

摘要

本发明涉及具有通式R_(4－m－n)ACl_mH_n且其中A等于硅、锗、钛或锡的化合物或高纯化合物的方法，以及适用于实施本方法的装置。特别地，本发明涉及用以通过在存在催化剂条件下歧化高度氯化的硅烷而制备具有通式H_nSiCl_4－n且n＝1，2，3或4的硅烷的装置和方法，并且其中用于本方法的装置基于至少一个蒸馏塔和至少一个旁路反应器、即外部反应器的组合体。根据另一个方面，本发明涉及包括具有通式(C_xH_2x+1O)₃Si(CH₂)_zN(C_yH_2y+1)₂的烷氨基三烷氧基硅烷的催化剂。另外，本发明还涉及通过在氢存在条件下的催化加氢脱卤四氯硅烷(SiCl₄)而制备三氯硅烷(HSiCl₃)的方法。根据再一个方面，本发明涉及制备具有通式Ia(R_(4－m－n)SiCl_mH_n)的烷基氢氯硅烷的方法，其中m等于1或2而n等于1或2且m+n≠3，并且R表示具有1至5个碳原子的烷基。此外，本发明还公开了用于处理杂有至少一种难以蒸馏分离出的含氢化合物的四氯化硅、四氯化锗、四氯化钛或四氯化锡的方法和装置。另外，本发明还公开了用于制备高纯度四氯化硅、四氯化锗、四氯化钛或四氯化锡的连续方法、设备以及反应器。

主权项

1.一种制备具有通式I的化合物的方法，其通过转化或处理至少一种具有通式II的化合物而实施，(I)R(4-m-n)AClmHn (II)R(4-p-q)AClpHq 其中，R为具有1至8个C原子的烃基，A表示具有四价态的元素周期表(PSE)的元素，并且m，n，p和q独立地为选自0，1，2，3和4的数，前提是，0＜(m+n)≤4以及0＜(p+q)≤4。