| 发明名称 | 在用于液晶显示器的玻璃基板上制造导电特征的方法和装置 | ||
| 摘要 | 提供用于将金属特征限定为液晶显示器(LCD)一部分的方法和系统。该方法应用于玻璃基板，并且该玻璃基板具有限定在该玻璃基板或该玻璃基板的层上的掩蔽导电金属层(例如，阻挡层)。反型光刻胶掩模施加在该掩蔽导电金属层上。然后在该反型光刻胶掩模上形成电镀弯液面。该电镀弯液面至少包含电解溶液和电镀化学品，其中，该电镀弯液面在掩蔽导电金属层上的未被该反型光刻胶掩模覆盖的区域内形成金属特征。 | ||
| 申请公布号 | CN101288165A | 申请公布日期 | 2008.10.15 |
| 申请号 | CN200680037893.0 | 申请日期 | 2006.09.08 |
| 申请人 | 朗姆研究公司 | 发明人 | 杰弗里·马克斯 |
| 分类号 | H01L21/77(2006.01);C25D5/02(2006.01);C25D5/04(2006.01);C25D17/28(2006.01);G02F1/1368(2006.01);G02F1/1362(2006.01) | 主分类号 | H01L21/77(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚;尚志峰 |
| 主权项 | 1.一种用于在玻璃基板上制造金属特征的方法，包括：在所述玻璃基板上施加光刻胶层；在所述光刻胶层上形成多个特征图案，以限定反型光刻胶掩模；在所述反型光刻胶掩模上局部地施加电镀流体，以在未被所述反型光刻胶掩模覆盖的区域内形成电镀材料；以及去除所述反型光刻胶掩模，以在未被所述反型光刻胶掩模覆盖的所述区域内限定所述金属特征。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||