清洁溅镀机的方法

摘要

一种清洁溅镀机的方法。溅镀机包含反应室、溅镀阴极、基座与载具。溅镀阴极设置于反应室内，且其具有溅镀靶。基座置于反应室内并相对应于溅镀靶，用以承载基板。载具用于将基板传送进入反应室。本方法包含提供玻璃以外材质的监控基板，其具有粗糙面，接着利用载具将此监控基板传送进反应室，并置于基座上，进行溅镀工艺，然后用载具将监控基板移出反应室，回收处理监控基板。

主权项

1.一种清洁溅镀机的方法，该溅镀机至少包含反应室、溅镀阴极、基座以及载具，该溅镀阴极设置于该反应室内，且其正面具有溅镀靶，该基座置于该反应室内并相对应于该溅镀靶，用以承载基板，该载具用于将该基板传送进入该反应室，该方法包含下列步骤：提供监控基板，其具有粗糙面；利用该载具将该监控基板传送进入该反应室，并置于该基座上；进行至少一溅镀工艺；利用该载具将该监控基板从该反应室中移出；以及对该监控基板进行回收处理。