发明名称 Method of forming a word line in the semiconductor memory device
摘要
申请公布号 KR100863421(B1) 申请公布日期 2008.10.14
申请号 KR20060058785 申请日期 2006.06.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/32;H01L21/027 主分类号 H01L21/32
代理机构 代理人
主权项
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