发明名称 METHOD FOR PATTERNING METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100862313(B1) 申请公布日期 2008.10.13
申请号 KR20060061444 申请日期 2006.06.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/027 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址