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发明名称 CHEMISCH-MECHANISCHE POLIERSYSTEME UND VERFAHREN ZU IHRER VERWENDUNG
摘要
申请公布号 DE60039996(D1) 申请公布日期 2008.10.02
申请号 DE20006039996 申请日期 2000.07.26
申请人 CABOT MICROELECTRONICS CORP. 发明人 WANG, SHUMIN;BRUSIC KAUFMAN, VLASTA
分类号 B24B57/02;C09G1/02;B24B37/00;C09C1/68;C09K3/14;C23F3/06;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/321 主分类号 B24B57/02
代理机构 代理人
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