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发明名称 Verwendung von Reinigungsgas
摘要
申请公布号 DE60037213(T2) 申请公布日期 2008.10.02
申请号 DE2000637213T 申请日期 2000.01.10
申请人 CENTRAL GLASS CO. LTD.;TOKYO ELECTRON LTD. 发明人 MOURI, ISAMU;TAMURA, TETSUYA;OHASHI, MITSUYA;KAWASHIMA, TADAYUKI;MATSUDO, MASAHIKO;HATANO, TATSUO
分类号 B08B5/00;H01L21/302;B08B9/00;C23C14/56;C23C16/44;C23F1/12;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31 主分类号 B08B5/00
代理机构 代理人
主权项
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