| 摘要 |
[课题]提供一种曝光绘图装置，搭载着少数光源和复数个作为空间光调变元件的DMD元件，确保高的运转率，且可确认此光源的光量。[解决方式]曝光绘图装置(100)系包括：光源(10)，照射包含紫外线的光；有孔构件(20)，设有用于将光源分离成第一光束和第二光束的第一开口窗(21)及第二开口窗(21)、以及光量检测用的检测窗(29)；第一及第二光学元件(22)，将通过第一开口窗及第二开口窗的第一光束及第二光束分别反射；第一光量感测器(SS11)，配置在第一及第二光学元件的附近，检测出来自光源通过检测窗的光量。 |
