微液滴喷头

摘要

一种微液滴喷头，包括第一基板、喷孔片、第二基板、流道板以及致动元件。喷孔片系配置于第一基板之第一表面上，且喷孔片具有至少一喷孔。第二基板配置于第一基板之第二表面上方，且第二基板具有至少一供液口。流道板配置于第一基板与第二基板之间，而其与第二基板之间系形成一压力腔。流道板具有一流道，欲喷出之溶液系经由第一基板之供液口流入流道，再从流道溢流至压力腔。致动元件则是配置于该第二基板上，其中致动元件适于带动第二基板产生变形，以改变压力腔之体积，进而使压力腔内之溶液经由喷孔喷出。