发明名称 电子装置之制造方法,基板及半导体装置
摘要 一种方法包括:形成一具有一突出物104B之凸块104于一电极垫103上之步骤,该电极垫103系提供于一半导体晶片101上;暴露该突出物104B之一部分于一在该半导体晶片101上所形成之绝缘层105的上表面之步骤;形成一导电层107A于该绝缘层105之上表面及一顶部114D之暴露部分的步骤;以一研磨滚筒112移除该导电层107A之相对于该顶部104D的一突出部分之步骤,藉此从该导电层107A暴露该突出物;以及使用该导电层107A做为一馈电层以经由电解电镀形成一导电层108A及图案化该导电层108A之步骤。
申请公布号 TW200839989 申请公布日期 2008.10.01
申请号 TW097109291 申请日期 2008.03.17
申请人 新光电气工业股份有限公司 发明人 町田洋弘
分类号 H01L23/485(2006.01);H01L23/488(2006.01) 主分类号 H01L23/485(2006.01)
代理机构 代理人 赖经臣;宿希成
主权项
地址 日本