以叠合标记检查对准精确度的方法

摘要

一种以叠合标记检查对准精确度的方法。此方法是先形成多数个叠合标记，其步骤包括在定义下晶圆层时，于部分下晶圆层中形成多数个外标记，之后，在进行用来定义一上晶圆层之微影制程时，于各外标记以内之下晶圆层的上方分别形成一内标记。其后，进行一量测步骤，以取得各外标记之内轮廓其彼此之间的关系以及相邻之各内标记其彼此之间的关系，或是取得各外标记之内轮廓与相邻之各内标记之间的关系。然后，以这些关系来估算微影制程与下晶圆层之间的Ｘ方向对准度与Ｙ方向对准度。