基板保持机构及电浆处理装置

摘要

本发明之课题在于，可容许某种程度之由绝缘体所构成之基板的位置偏离，且可防止异常放电的产生于未然。本发明之解决手段，系设置有：气体流路352，用以将气体供应至载置台300与以此载置台300的基板保持面所保持之基板G之间；复数个气孔354，将来自于气体流路的气体导引至基板保持面上；位置偏离检测用突起332，于较基板的周缘更外侧，仅距离特定的位置偏离容许量b并沿着周缘而配设，且以较载置台的基板保持面更高之方式地突出；流体压力计363，测定气体流路的压力；以及控制部400，于将基板保持于载置台上时，根据来自于压力测定手段的检测压力，检测出来自于气孔的气体泄漏量，并根据该检测结果，检测出是否产生特定的位置偏离容许量以上之基板的位置偏离。