发明名称 矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器
摘要 矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器,它涉及微机电系统移相器。它解决了现有MEMS移相器存在单桥相移量小、相位精度低的问题。本发明的金属槽形矩形桥(8)覆盖在n个金属桥(5)的上方,金属槽形矩形桥(8)的桥壁下端固定在共面波导(1)上的两根地线(4)上,金属槽形矩形桥(8)顶部的桥梁与共面波导(1)平行。本发明的金属槽形矩形桥覆盖了MEMS金属桥及跨接了两侧的地线,使得电磁波的传输被限制在矩形桥以内,因而降低移相器的辐射损耗,由于信号线和地线之间的耦合度增大,表面电流得到分散,进而降低了传导损耗,减少了相邻器件间的电磁干扰,有效地减小了附加的波导桥尺寸。
申请公布号 CN101276950A 申请公布日期 2008.10.01
申请号 CN200810064370.6 申请日期 2008.04.23
申请人 哈尔滨工业大学 发明人 吴群;傅佳辉;孟繁义;杨国辉;靳炉魁;唐恺;贺训军
分类号 H01P1/18(2006.01) 主分类号 H01P1/18(2006.01)
代理机构 哈尔滨市松花江专利商标事务所 代理人 吴国清
主权项 1、矩形桥式共面波导结构的毫米波微机电系统移相器,它包含共面波导(1)、信号线(3)、地线(4)、金属桥(5)和金属槽形矩形桥(8),其特征在于金属槽形矩形桥(8)覆盖在n个金属桥(5)的上方,金属槽形矩形桥(8)壁的下端固定在共面波导(1)上的两根地线(4)上,金属槽形矩形桥(8)顶部的桥梁与共面波导(1)平行。
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