| 发明名称 | 微振荡器件及微振荡器件阵列 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种微振荡器件及微振荡器件阵列，该微振荡器件包括框架、振荡部件以及连接部件，其中该振荡部件包括用以施加参考电位的第一驱动电极，该连接部件用以将该框架和该振荡部件彼此连接，该连接部件定义了该振荡部件的振荡运动轴。第二驱动电极，固定至该框架并与该第一驱动电极协作以产生用于该振荡运动的驱动力。该第一驱动电极包括第一端延伸部和第二端延伸部，该第一端延伸部和第二端延伸部彼此隔离，并在与该轴交叉的方向上延伸。该第二驱动电极处于该第一和第二端延伸部之间的一隔离距离之内。 | ||
| 申请公布号 | CN101276053A | 申请公布日期 | 2008.10.01 |
| 申请号 | CN200810090311.6 | 申请日期 | 2008.03.28 |
| 申请人 | 富士通株式会社 | 发明人 | 壶井修;高马悟觉;曾根田弘光;奥田久雄;水野义博;松本刚 |
| 分类号 | G02B26/10(2006.01);G02B26/08(2006.01);B81B7/02(2006.01);B81B3/00(2006.01) | 主分类号 | G02B26/10(2006.01) |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张龙哺;冯志云 |
| 主权项 | 1.一种微振荡器件，包括：至少一个框架；振荡部件，其包括第一驱动电极，用以施加参考电位；连接部件，用以将所述框架和该振荡部件彼此连接，该连接部件定义了该振荡部件的振荡运动的轴；以及第二驱动电极，固定至所述框架并与该第一驱动电极协作以产生用于该振荡运动的驱动力；其中该第一驱动电极包括第一端延伸部和第二端延伸部，该第一端延伸部和该第二端延伸部彼此隔离，并沿着与该轴交叉的方向延伸；其中该第二驱动电极处于该第一端延伸部和该第二端延伸部之间的一隔离距离内。 | ||
| 地址 | 日本神奈川县川崎市 | ||