发明名称 制备单晶质群 –V化合物的方法
摘要 本发明所揭示系关于从多元晶形第Ⅱ-Ⅵ族或第Ⅲ-Ⅴ族化合物产制单晶形第Ⅱ-Ⅵ族或第Ⅲ-Ⅴ族化合物之方法,该方法包括以具有熔点高于多元晶形化合物之粉状固体涂层于坩埚之内部表面,将一种量的多元晶形化合物置于涂层坩埚内,加热坩埚以产生一种熔解物同时维持粉末呈固体形式并冷却坩埚以产生固体化合物。较佳的粉状固体系可热解的氮化硼。尤其可使用此方法产制半绝缘砷化镓,其所具有EL2 浓度系介于约 0.85×1016厘米 -3及约 2.0×1016厘米 -3 之间,及一种差排密度系介于约 500厘米 -2 与约 7800 厘米 -2之间。
申请公布号 TW182005 申请公布日期 1992.04.11
申请号 TW079108224 申请日期 1990.10.02
申请人 阿克左公司 发明人 大卫.麦可.法兰克玛诺;罗梭.尤金.克拉玛
分类号 C30B11/00;C30B29/40;C30B29/42 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人 林镒珠 台北巿长安东路二段一一二号九楼
主权项 1.一种从多元晶形第Ⅲ-Ⅴ族化合物产制单元晶形 第Ⅲ-Ⅴ 族化合物之方法,该方法包括:(a)以粉状固体涂层 坩埚 内部表面,该粉状固体所具有熔点高于多元晶形化 合物之 熔点,(b)将一种数量的第Ⅲ-Ⅴ族多元晶形化合物 置于该 涂层坩埚内,(c)将含有该化合物之涂层坩埚置入加 热工 具中,(d)加热含有该化合物之涂层坩埚到798K以上, 该温度高于该化合物的熔点,以熔解在坩埚内之化 合物, 同时维持该粉状固体呈固体粉末形式,且(e)冷却该 坩埚 及该化合物以产制单元晶形化合物。2.如申请专 利范围第1项之方法,其中该粉状固体系氮化 硼。3.如申请专利范围第1项之方法,其中该涂层步 骤(a)进一 步包括:(1)将该粉状固体及水和醇的混合物形成桨 状物 ,(2)施用桨状物至坩埚内部表面,且(3)挥发该混合 物且 藉此使粉末固体沉积于坩埚内部表面上。4.如申 请专利范围第1项之方法,其中该第Ⅲ-Ⅴ族化合物 系砷化镓。5.一种从单元晶形物质之多元晶形先 质而在垂直方向地埚 内产制单元晶形第Ⅲ-Ⅴ族物质之方法,该方法由 下列所 组成:(a)以粉状固体涂层坩埚内部表面,其所具有 熔点 高于多元晶形先质之熔点,(b)将单元种晶置于坩埚 底部 ,(c)以多元晶形先质承载至坩埚之其余部份,(d)将 坩埚 置于垂直方向炉内,该炉能够产制上部热区域及下 部冷区 城;(e)调整炉位置及上部热区温度以加热多元晶形 物质 到798K以上使形成熔解物同时约下半部单元种晶 维持固 体形式;(f)设定在下部冷却区域温度低于单元晶形 物质 熔点同时维持在上部热区域中之温度超过熔点以 建立一种 固体—水、醇混合物介面,且(g)往上移动该炉且该 固体 —混合物介面,同时几乎维持在步骤(f)中所设定温 度而 于该炉及该固体—混合物介面垂直往上移动时可 产制固体 单元结晶物质。6.如申请专利范围第5项之方法,其 中该单元晶形第Ⅲ-Ⅴ 族物质系砷化镓。7.如申请专利范围第5项之方法, 其中该粉状固体系粉状 氮化硼。8.如申请专利范围第5项之方法,此进一步 包括于步骤(e) 之前将碳源置于炉内侧而在坩埚外侧,该碳源与多 元晶形 先质呈流体相连通。9.从多元晶形第Ⅲ-Ⅴ挨化合 物产制添加碳之单元晶形第 Ⅲ-Ⅴ族化合物之方法,该方法包括:(a)以粉状固体 涂层 坩埚内部表面,其所具有熔点高第Ⅲ-Ⅴ族化合物 之熔点 ,(b)将某种数量多元晶形化合物置入坩埚内,该多 元晶 形化合物系选自第Ⅲ-Ⅴ族化合物所组成群组,(c) 将含多 元晶形化合物之坩埚置于炉内,(d)将碳源置于炉内 侧及 坩埚外侧,该碳源与多元晶形化合物呈流体通,(e) 以从 炉之热施用至坩埚及多元晶形化合物上使达798K 以上以 熔解在坩埚内的化合物,且(f)降低炉温以冷却坩埚 并产 制添加碳之单元晶形化合物。10.如申请专利范围 第9项之方法,其中该粉状固体系粉状 氮化硼。11.如申请专利范围第9项之方法,其中该 第Ⅲ-Ⅴ族化合 物系砷化镓。12.从多元晶形第Ⅲ-Ⅴ族化合物产制 添加碳单元晶形第Ⅲ -Ⅴ族化合物之方法,该方法包括:(a)将单元种晶置 入坩 埚中,(b)将一种量之多元晶形化合物置入坩埚中, 该多 元晶形化合物系选自第Ⅲ-Ⅴ族化合物所组成群组 ,(c)将 含多元晶形化合物之坩埚置于石英安瓿内,(d)将碳 源置 于安瓿内侧而仍在坩埚外侧,该碳源与多元晶形化 合物呈 流体相连通,(e)以粉状固体涂层坩埚内部表面,其 所具 熔点系高于第Ⅲ-Ⅴ族化合物之熔点,(f)密封该安 瓿,(g )将已密封安瓿置于炉内,(h)增加炉温到798K以上以 熔 解多元晶形化合物,且(i)降低炉温以冷却熔解物且 产制 添加碳之单元晶形化合物。13.如申请专利范围第 12项之方法,其中该粉状固体系粉 状氮化硼。14.如申请专利范围第13项之方法,其中 该第Ⅲ-Ⅴ族化合
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