具有故障诊断功能的微机电系统器件

摘要

为了实现监测运动部件的机械响应特性的MEMS器件，以便无需改变现有的控制输入且不添加任何组件来检测严重故障的预兆，提供了：振动探测装置80，用于探测在双状态之一中在运动部件60中激励的微振动；动态特性分析单元，在来自探测的输出的基础上分析运动部件60的动态特性；存储器100，存储所分析的数据；运算单元110，检索所存储的数据，比较时域上相继的两条数据并计算所述两条数据之间的差异信息；以及故障诊断单元120，基于差异信息进行故障诊断。

主权项

1. 一种微机电系统器件，包括：衬底；全部形成于所述衬底上的运动部件、固定部件和使所述运动部件发生位移的致动器；控制单元，驱动所述致动器以在第一稳定状态和第二稳定状态之间切换运动部件的位置，第一稳定状态和第二稳定状态被统称为双状态；振动探测装置，用于探测在所述双状态之一中在所述运动部件中激励的微振动；动态特性分析装置，用于在来自所述振动探测装置的输出的基础上分析所述运动部件的动态特性；存储器，存储从所述动态特性分析装置输出的数据；运算单元，从所述存储器中检索数据，比较时域上相继的两条数据并计算所述两条数据之间的差异信息；以及故障诊断单元，基于从所述运算单元输出的所述差异信息进行故障诊断。