玻璃模造用模仁

摘要

本发明公开了一种玻璃模造用模仁，包含：一基材、一形成于该基材上并具有一远离该基材且供模造用的塑形面的保护膜，及一夹置介于该基材及该保护膜之间的蚀刻阻障膜；该保护膜是由一选自于下列的材料所制成：含有M₁的组分、含有M₁及碳的组分、含有M₁及氮的组分，及含有M₁、碳及氮的组分。该M₁是一选自于下列的元素：钛、铝、钨、钽、铬、锆、钒、铌、铪、硼、铂、铱、铼、钌、铑、锇及它们的一组合；该蚀刻阻障膜是由一选自于下列的材料所制成：非晶碳、类钻碳及它们的一组合。

主权项

1. 一种玻璃模造用模仁，其特征在于其包含：一基材；一形成于该基材上的保护膜，具有一远离该基材且供模造用的塑形面，该保护膜是由一选自于下列的材料所制成：含有M1的组分、含有M1及碳的组分、含有M1及氮的组分，及含有M1、碳及氮的组分，该M1选自于下列的元素：钛、铝、钨、钽、铬、锆、钒、铌、铪、硼、铂、铱、铼、钌、铑、锇及它们的一组合；及一夹置介于该基材及该保护膜之间的蚀刻阻障膜，该蚀刻阻障膜是由一选自于下列的材料所制成：非晶碳、类钻碳及它们的一组合。