发明名称 |
LCD曝光机球座浮动升降平衡装置 |
摘要 |
本实用新型公开了一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置,包括吸附平台、定位销、定位座、光罩玻璃,所述光罩玻璃设在吸附平台的上面,吸附平台与定位座通过定位销活动连接,其特征在于:还包括第一吸附球座、第二吸附球座,所述第一吸附球座固定在吸附平台的底面上,第二吸附球座位于第一吸附球座下方,该第一吸附球座与第二吸附球座浮动接触,所述第二吸附球座与定位座连接固定。由于采用了上述结构,本实用新型曝光品质好,结构简单、加工容易,易形成批量生产。 |
申请公布号 |
CN201122231Y |
申请公布日期 |
2008.09.24 |
申请号 |
CN200720054209.1 |
申请日期 |
2007.07.17 |
申请人 |
志圣科技(广州)有限公司 |
发明人 |
夏卫平 |
分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
主分类号 |
G03F7/20(2006.01) |
代理机构 |
广州市南锋专利事务所有限公司 |
代理人 |
李永庆 |
主权项 |
1. 一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置,包括吸附平台(1)、定位销(2)、定位座(3)、光罩玻璃(4),所述光罩玻璃(4)设在吸附平台(1)的上面,吸附平台(1)与定位座(3)通过定位销(2)活动连接,其特征在于:还包括第一吸附球座(5)、第二吸附球座(6),所述第一吸附球座(5)固定在吸附平台(1)的底面上,第二吸附球座(6)位于第一吸附球座(5)下方,该第一吸附球座(5)与第二吸附球座(6)浮动接触,所述第二吸附球座(6)与定位座(3)连接固定。 |
地址 |
510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号 |