发明名称 LCD曝光机球座浮动升降平衡装置
摘要 本实用新型公开了一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置,包括吸附平台、定位销、定位座、光罩玻璃,所述光罩玻璃设在吸附平台的上面,吸附平台与定位座通过定位销活动连接,其特征在于:还包括第一吸附球座、第二吸附球座,所述第一吸附球座固定在吸附平台的底面上,第二吸附球座位于第一吸附球座下方,该第一吸附球座与第二吸附球座浮动接触,所述第二吸附球座与定位座连接固定。由于采用了上述结构,本实用新型曝光品质好,结构简单、加工容易,易形成批量生产。
申请公布号 CN201122231Y 申请公布日期 2008.09.24
申请号 CN200720054209.1 申请日期 2007.07.17
申请人 志圣科技(广州)有限公司 发明人 夏卫平
分类号 G03F7/20(2006.01) 主分类号 G03F7/20(2006.01)
代理机构 广州市南锋专利事务所有限公司 代理人 李永庆
主权项 1. 一种LCD曝光机球座浮动升降平衡装置,包括吸附平台(1)、定位销(2)、定位座(3)、光罩玻璃(4),所述光罩玻璃(4)设在吸附平台(1)的上面,吸附平台(1)与定位座(3)通过定位销(2)活动连接,其特征在于:还包括第一吸附球座(5)、第二吸附球座(6),所述第一吸附球座(5)固定在吸附平台(1)的底面上,第二吸附球座(6)位于第一吸附球座(5)下方,该第一吸附球座(5)与第二吸附球座(6)浮动接触,所述第二吸附球座(6)与定位座(3)连接固定。
地址 510850广东省广州市花都区狮岭镇第二工业区利和路6号