发明名称 |
层积半导体芯片的半导体装置及其制造方法 |
摘要 |
一种层积半导体芯片的半导体装置及其制造方法。其在电极膜表面形成粘合膜,再在其上形成覆盖膜。粘合膜的构成材料使用镍、铬、钼、钨、铝及这些金属的合金等。覆盖膜的材料使用金、银、白金及这些金属的合金等。 |
申请公布号 |
CN100421249C |
申请公布日期 |
2008.09.24 |
申请号 |
CN200410083359.6 |
申请日期 |
2004.09.30 |
申请人 |
三洋电机株式会社 |
发明人 |
臼井良辅;水原秀树;中村岳史 |
分类号 |
H01L25/00(2006.01);H01L23/48(2006.01);H01L21/50(2006.01) |
主分类号 |
H01L25/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
李贵亮;杨梧 |
主权项 |
1. 一种半导体装置,其特征在于,包括:基件;导电路,其设在所述基件中;绝缘膜,其覆盖所述基件的至少一部分;垫片电极,其设在所述基件表面或所述绝缘膜表面,连接所述导电路;半导体芯片,其形成在所述绝缘膜上;导电部件,其电连接所述垫片电极及所述半导体芯片,其中,所述绝缘膜的表面是等离子处理面,所述垫片电极具有电极膜及在其表面形成的导电性保护膜,所述导电部件的一端连接所述导电性保护膜。 |
地址 |
日本大阪府 |