气体传感器及其制造方法

摘要

一种气体传感器，焊接简单，并能够长期保持焊接强度。把Pt族引线配置在金合金焊盘上，对金系的凸起部进行超声波热压焊，从而把引线夹在焊盘与凸起部之间并将其固定，凸起部为圆盘状，直径为引线的直径的6～12倍，高度为2～5倍，上表面没有凹部。

主权项

1. 一种气体传感器的制造方法，在衬底上形成加热膜、气体感应部和焊盘，把将该衬底连接至外部的引线焊接在所述焊盘上，其特征在于，把直径为r的引线的前端配置在金系的焊盘上，在直径为r的1.5倍以上的用于形成凸起部的金系线材的前端，形成直径为r的5倍以上10倍以下的球；把该球超声波热压焊于所述焊盘，形成除了线材的残部之外上表面平坦的凸起部，同时，把所述引线夹在该凸起部与焊盘之间进行焊接，且凸起部为圆盘状，上表面没有凹部，其直径取为R，从焊盘的上表面到凸起部的上表面的高度取为H，与引线的直径r之比取为：6≤R/r≤12，2≤H/r≤5。