等离子体处理器线圈

摘要

一种等离子体处理器线圈能包括一与多个多匝共面交织螺旋并联的绕组作电阻或只是电抗耦合的短路匝，一分离电容器可与各绕组关联以将电流从该绕组一部分分流到绕组另一部分，各绕组外围部分邻匝间的间距与各绕组里面部分邻匝间的间距不同，线圈长度相对于该线圈RF激发波长很短。

主权项

1. 一种等离子体处理器线圈，所述线圈包括：连接RF激发电路相对第一与第二端子的第一与第二激发端子、连接所述第一与第二激发端子的至少一个绕组，以及耦合至少一个绕组的短路匝，所述至少一个绕组沿径向和环形方向在所述线圈的内外部分之间延伸，且所述至少一个绕组具有直接连接到所述第一激发端子的最里部分，所述短路匝耦合至所述线圈的最里部分。