单结晶锭块之切断片的落下防止治具

摘要

[目的] 提供单结晶锭块之切断片的落下防止治具，其系于使用带锯切断机而自单结晶锭块切出任意厚的晶块或晶圆的场合，能够防止切断片滚落而缺损的问题。[构成] 单结晶锭块之切断片的落下防止治具系分别将橡塑制吸着垫１、２熔接于金属制底板1a、2a而形成碗形，并用螺丝轴３而背对背地连接，进而以双螺帽固定之。于吸着垫１吸着有与单结晶锭块约同直径的暂置块后，将吸着垫２压着于单结晶锭块６的端面，而施行切断。切断片系连同暂置块５在稳定的状态下被输送器运送，而不会自输送器滚落。

主权项

1. 一种单结晶锭块之切断片的落下防止治具,其特征在于:于将单结晶锭块切断而成为任意长度之尺寸的晶块时,将吸着于欲切断之单结晶锭块之端面的吸着垫以及吸着于与上述单结晶锭块约同直径之暂置块的吸着垫背对背设置。2. 一种单结晶锭块之切断片的落下防止治具,其特征在于:于将单结晶锭块切断而成为任意长度之尺寸的晶块时,藉由安装构件而将吸着于上述单结晶锭块之端面的吸着垫设置于与欲切断之单结晶锭块约同直径的暂置块。3. 如申请专利范围第1或2项所述之单结晶锭块之切断片的落下防止治具,其中,暂置块之外周之至少一处设有平面。图示简单说明:第1图系本发明之第一实施例之切断片落下防止治具的剖面图。第2图系暂置块的立体图。第3图系本发明之第二实施例之切断片落下防止治具的剖面图。第4图系本发明之第三实施例之切断片落下防止治具的剖面图。