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发明名称 METHODE ZUR HERSTELLUNG VON FINFETS MIT MEHREREN HÖHEN
摘要
申请公布号 DE602004015592(D1) 申请公布日期 2008.09.18
申请号 DE200460015592T 申请日期 2004.01.30
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人 RAINEY, BETH ANN;NOWAK, EDWARD J.;ALLER, INGO DR.;KEINERT, JOACHIM;LUDWIG, THOMAS
分类号 H01L21/84;H01L21/336;H01L21/8238;H01L27/12;H01L29/04;H01L29/786 主分类号 H01L21/84
代理机构 代理人
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