发明名称 |
ANALYSIS OF FAILURE IN SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH10144742(A) |
申请公布日期 |
1998.05.29 |
申请号 |
JP19960294149 |
申请日期 |
1996.11.06 |
申请人 |
NEC CORP |
发明人 |
SUMITOMO HIROSHI;NAKAMURA TOYOICHI |
分类号 |
G01R31/302;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/302 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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