摘要 |
Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines gestapelten piezoelektrischen Elementes offenbart, bei dem ein Zwischenstapelkörper (10) unter Verwendung von Grünlagenschichten (110) und Innenelektrodenpastenschichten (140) angefertigt wird, die abwechselnd aufeinander gestapelt werden, wobei an inneren Stellen nahe den Seitenwänden (105) des Zwischenstapelkörpers (10) in deren Umgebung Verschwindeschichten (120) eingebettet werden. Der Zwischenstapelkörper (10) wird gebrannt, um die piezoelektrischen Schichten und die Innenelektroden auszubilden, während die Verschwindeschichten (120) verschwinden, wodurch ein gesinterter Stapelkörper mit Luftlochabschnitten erhalten wird, die in einem Bereich einer näheren Umgebung der Seitenwände ausgebildet sind. Der gesinterte Stapelkörper wird zu einem keramischen Stapelkörper geschliffen, wobei die Luftlochabschnitte als ein ausgesparter Abschnitt freiliegen. Seitenelektroden werden derart in die Seitenwände des keramischen Stapelkörpers gebrannt, dass die Seitenelektroden abwechselnd und elektrisch mit den Innenelektrodenschichten verbunden sind. |