发明名称 Verfahren zum Herstellen eines gestapelten piezoelektrischen Elements
摘要 Es wird ein Verfahren zum Herstellen eines gestapelten piezoelektrischen Elementes offenbart, bei dem ein Zwischenstapelkörper (10) unter Verwendung von Grünlagenschichten (110) und Innenelektrodenpastenschichten (140) angefertigt wird, die abwechselnd aufeinander gestapelt werden, wobei an inneren Stellen nahe den Seitenwänden (105) des Zwischenstapelkörpers (10) in deren Umgebung Verschwindeschichten (120) eingebettet werden. Der Zwischenstapelkörper (10) wird gebrannt, um die piezoelektrischen Schichten und die Innenelektroden auszubilden, während die Verschwindeschichten (120) verschwinden, wodurch ein gesinterter Stapelkörper mit Luftlochabschnitten erhalten wird, die in einem Bereich einer näheren Umgebung der Seitenwände ausgebildet sind. Der gesinterte Stapelkörper wird zu einem keramischen Stapelkörper geschliffen, wobei die Luftlochabschnitte als ein ausgesparter Abschnitt freiliegen. Seitenelektroden werden derart in die Seitenwände des keramischen Stapelkörpers gebrannt, dass die Seitenelektroden abwechselnd und elektrisch mit den Innenelektrodenschichten verbunden sind.
申请公布号 DE102008000402(A1) 申请公布日期 2008.09.18
申请号 DE20081000402 申请日期 2008.02.25
申请人 DENSO CORP. 发明人 NODA, KOJI;MURAI, ATSUSHI;SUZUKI, SATOSHI;NAGAYA, TOSHIATSU
分类号 H01L41/083;H01L41/187;H01L41/22;H01L41/273;H01L41/337;H01L41/39 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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