| 主权项 |
1.一种移动联锁装置,其特征为:利用驱动为了移动被处理体的移动机器之驱动组件和、控制前述驱动组件之控制组件和、监视前述移动机器的移动状态,且一旦移动状态超过规定値即停止前述驱动组件之手段和、将前述规定値选择切换进行前述移动机器的位置调整之教育马达与实转前述移动机器之实转马达之手段所构成。2.一种移动联锁装置,其特征为:利用驱动为了移送被处理体的移送机器之驱动组件和、控制前述驱动组件的动作之控制组件和、监视前述移送机器的移动状态,一旦移动状态超过规定値即停止前述驱动组件之手段和、将前述规定値选择切换进行前述移动机构的位置调整之教育马达与实转前述移动机器之实转马达之手段所构成。3.如申请专利范围第1项所述之移动联锁装置,其中,前述驱动组件,系利用机械式驱动移送机器之伺服马达以及电动式驱动该伺服马达之驱动所构成,前述停止手段,系监视前述移送机器的移送速度以及移送机器的位置偏差,一旦该些至少一个超过个别的规定値即停止前述驱动组件,且不会发生一定以上的转矩。4.如申请专利范围第3项所述之移动联锁装置,其中,前述控制组件,是设定教育马达将前述规定値设定在比实转马达的规定値还低的値。5.一种基板搬送装置之联锁机构,其特征为:具备为了进行驱动基板递送的支臂之驱动组件和、控制前述驱动组件的动作之控制组件;前述控制组件,具有当支臂的驱动速度超过有关速度的门槛値以及当支臂的驱动位置偏差超过有关位置偏差的门槛値的任何之一时,即停止前述驱动组件的动作之手段和、将有关前述速度的门槛値、有关位置偏差的门槛値以及有关驱动力的门槛値,分别以前述搬送装置的普通运转马达与决定支臂移动位置之教育马达切换之手段。6.如申请专利范围第5项所述之基板搬送装置之联锁装置,其特征为:有关被设定在前述教育用速度之门槛値、有关位置偏差的门槛値以及有关驱动力的门槛値,分别比有关被设定在前述搬送装置的普通作用时的速度的门槛値、有关位置偏差的门槛値以及有驱动力的门槛値还小。7.如申请专利范围第5项所述之基板搬送装置之联锁装置,其中,前述控制组件系具备记忆决定前述教育马达中的前述支臂移动位置之第一储存器与记忆有关普通作用时的支臂速度的门槛値A、有关普通作用时的支臂位置偏差的门槛値B以及有关普通作用时的支臂驱动力的门槛値C以及有关教育时的支臂速度的门槛値a(<A)、有关教育时的支臂的位置偏差的门槛値b(<B)以及有关教育时的支臂驱动力的门槛値c(<C)之第二储存器。8.如申请专利范围第7项所述之基板搬送装置之联锁装置,其中,前述控制组件,系读入来自教育马达中的前述第二储存器小値的门槛値a、b、c,基于该些门槛値以利用操作员而被设定在手动式,将递送基板的支臂位置记忆在前述第一储存器。9.一种处理装置之联锁装置,其特微为:利用包含为了驱动处理基板的处理装置的伺服马达之驱动组件和、具有将前述驱动组件切换至教育马达与生产运转马达之功能以及监视前述驱动马达,一旦前述驱动组件的状态超过规定値,即停止前述驱动组件动作之控制组件和、将前述规定値设定的比前述教育马达中的前述生产运转马达还小之手段所构成。10.如申请专利范围第9项所述之处理装置之联锁装置,其中,前述控制组件,会将驱动前述伺服马达之指令脉冲、ON或OFF前述伺服马达的自动系统讯号及切换教育马达与实转马达之参数变化讯号送至前述驱动组件,前述驱动组件,是在参数变化讯号为OFF时,将包含为教育马达的前述伺服马达的转矩、加速度之控制参数设定在前述生产运转马达中的前述伺服马达的定额値以下之値。11.如申请专利范围第9项所述之处理装置之联锁装置,其中,前述驱动组件具有计时指令脉冲的计数器,前述控制组件是监视前述驱动组件的计数器,当该计数器超过溢位时即停止前述驱动组件。图式简单说明:第一图系具备有关本发明之实施例之搬送装置之处理系统之立体图;第二图系搬送装置之动作说明图;第三图系搬送装置之动作说明图;第四图系表示进行有关搬送装置的支臂的控制之流程图;第五图系具有随着本发明之具体实施例的联锁功能的处理系统之流程图解路图。 |
