| 发明名称 | 复合靶体 | ||
| 摘要 | 复合靶体,它具有靶芯,在靶芯表面涂覆有靶材。靶芯采用耐高温刚性材料,如石英玻璃、陶瓷、金属及合金材料。靶材采用氧化物功能陶瓷材料,如铁电材料、氧化物高温超导材料、氧化物巨磁阻材料及氧化物磁光材料。本实用新型的优点是制作方法简单,用料节省,靶材易于更换,制靶不需模具。 | ||
| 申请公布号 | CN2306479Y | 申请公布日期 | 1999.02.03 |
| 申请号 | CN97244446.7 | 申请日期 | 1997.08.01 |
| 申请人 | 浙江大学 | 发明人 | 沙健;马向阳;张守业 |
| 分类号 | F41J1/01 | 主分类号 | F41J1/01 |
| 代理机构 | 浙江大学专利代理事务所 | 代理人 | 张法高 |
| 主权项 | 1．一种复合靶体，其特征在于它具有靶芯[1]，在靶芯表面涂附有靶材[2]。 | ||
| 地址 | 310027浙江省杭州市玉古路20号 | ||