In-situ measurement method and apparatus for semiconductor processing,申请号EP19990309084-传众专利搜索

发明名称	In-situ measurement method and apparatus for semiconductor processing
摘要
申请公布号	EP1014437(B1)	申请公布日期	2008.09.17
申请号	EP19990309084	申请日期	1999.11.16
申请人	INFINEON TECHNOLOGIES AG;INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION	发明人	FLIETNER, BERTRAND;MULLER, K. PAUL
分类号	G05B19/00;H01L21/66;G05D23/00;H01L23/544	主分类号	G05B19/00
代理机构		代理人
主权项
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