| 发明名称 |
LITHOGRAPHIC APPARATUS INCLUDING A CLEANING DEVICE AND METHOD FOR CLEANING AN OPTICAL ELEMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1969427(A1) |
申请公布日期 |
2008.09.17 |
| 申请号 |
EP20060812762 |
申请日期 |
2006.12.01 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
VAN HERPEN, MAARTEN MARINUS JOHANNES WILHELMUS;KLUNDER, DERK JAN WILFRED |
| 分类号 |
G03F7/20;B08B7/00;G21K1/00;H05G2/00 |
主分类号 |
G03F7/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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