光波导器件、可变光衰减器及其阵列和光开关及其阵列

摘要

一种用作可变光衰减器或光开关的光波导器件包括：衬底；马赫-曾德尔干涉仪，它设在所述衬底上，并包括插入在一对分支之间的第一和第二波导部分；加热器，它包括导电薄膜，形成在与所述第一波导部分对应的位置处，并通过发出的热量对第一波导部分加热，以引起在第一波导部分中传播的光信号相移；以及与所述加热器串联地连接到用于向加热器提供电能的电源的电阻器。所述电阻器具有低于所述加热器的电阻温度系数。所述波导器件优选地形成为具有石英玻璃波导结构的器件。

主权项

1. 一种波导器件，包括：衬底；马赫-曾德尔干涉仪，它被设在所述衬底上，并包括插入在一对分支之间的第一和第二波导部分；具有导电薄膜的加热器，形成在与所述第一波导部分对应的位置处，并通过发出的热量对所述第一波导部分加热，以引起所述第一波导部分中传播的光信号相移；以及与所述加热器串联地连接到电源的电阻器，所述电源向所述加热器提供电能，所述电阻器具有低于所述加热器的电阻温度系数，并且所述电阻器被构成为使流过该电阻器的电流与流过所述加热器的电流相同。