| 主权项 |
1.一种乾燥基板之方法,其系在该基板置于装有冲洗液体的冲洗槽内冲洗之后将基板相对于冲洗液体移位,该方法包括下列诸步骤:提出一第一持器,其系以可垂直移动的方式配置在该冲洗槽内且其包括至少一固持基板用之沟槽,与一第二持器,其系以可垂直移动的方式配置在该冲洗槽内的该第一持器之下方且其包括至少一固持该基板用之沟槽;于该冲洗液体的液面通过该第一持器所具固持该基板用的沟槽时,仅由该第二持器实质垂直地固持住该基板,其中系使该基板与该第二持器所具固持基板用的沟槽相衔接;及在该冲洗液体的液面已通过该第一持器所具固持基板用的沟槽之后,将该第一持器提起使其所具固持基板用的沟槽与该基板衔接且将第二持器降低使该第二持器所具固持基板用之沟槽与该基板脱离,由而在该冲洗液体的液面向下通过该第二持器所具固持基板之沟槽时,仅由该第一持器所具固持基板之沟槽实质垂直地固持住该基板而使该基板与该第一持器所具固持基板用的沟槽相衔接。2.如申请专利范围第1项之方法,其中在该冲洗液体之液面已通过该第一持器所具固持基板用的沟槽之后,即将该第一持器所具固持基板用的沟槽乾燥后再与该基板接触。3.如申请专利范围第1项之方法,其中该第一持器与第二持器系以相反方向同步地垂直移动而使该第一及第二两持器中有一者上升时,另一持器为下降。4.如申请专利范围第2项之方法,其中该第一持器与第二持器系以相反方向同步地垂直移动而使该第一及第二两持器中有一者上升时,另一持器为下降。5.如申请专利范围第1项之方法,其中当该冲洗液体之液面通过该基板之下端时,该基板之下端系保持与一三角形边缘的元件相接触以使残留在该基板下端上的冲洗液体部份由该处流走。6.如申请专利范围第2项之方法,其中当该冲洗液体之液面通过该基板之下端时,该基板之下端系保持与一三角形边缘的元件相接触以使残留在该基板下端上的冲洗液体部份由该处流走。7.如申请专利范围第3项之方法,其中当该冲洗液体之液面通过该基板之下端时,该基板之下端系保持与一三角形边缘的元件相接触以使残留在该基板下端上的冲洗液体部份由该处流走。8.如申请专利范围第4项之方法,其中当该冲洗液体之液面通过该基板之下端时,该基板之下端系保持与一三角形边缘的元件相接触以使残留在该基板下端上的冲洗液体部份由该处流走。9.一种乾燥基板所用的装置,其系在该基板置于装有冲洗液体的冲洗槽中冲洗之后使该基板相对于冲洗液体移位,该装置包括:一第一持器,其系经配置在该冲洗槽内以将该基板以实质地呈垂直方向固持着且该第一持器包括至少一个可与基板衔接的固持基板用之沟槽;一第二持器,其系配置在该冲洗槽内该第一持器的下方,其系用以将该基板以实质呈垂直方向固持着,该第二持器包括至少一个可与该基板衔接的固持基板用之沟槽;及一持器提举机构,其系用以将该第一持器与该第二持器实质垂直地移动,该持器提举机构系可操作以实质垂直地移动该第一持器与该第二持器,使得当该冲洗液体的液面向下通过该第一持器所具该固持基板用的沟槽时,基板仅由该第二持器所固持,且当该冲洗液体的液面向下通过该第二持器所具固持基板用的沟槽时,该基板仅由该第一持器所固持。10.如申请专利范围第9项之装置,其中该持器提举机构系位于该冲洗槽底部之近处,该持器提举机构包括一封套以在其内部界定一封合空间,其中该持器提举机构更包括在该封合空间内的一第一偏心凸轮,一第二偏心凸轮,一第三偏心凸轮,一第一导引板,一第二导引板与一第三导引板,该第二偏心凸轮与该第三偏心凸轮系配置在该第一偏心凸轮之相反两侧,且该第一、第二与第三导引板系分别连接至该第一、第二与第三偏心凸轮且在该第一、第二与第三偏心凸轮转动时垂直地移动,其中该持器提举机构更包括一驱动器工具用以转动该第一、第二与第三偏心凸轮;其中该第一持器系由两持器元件所构成,于该两持器元件之间夹置着该第二持器,其中之一持器元件系连接至该第二导引板,而另一持器元件系连接至该第三导引板,且其中该第二持器系连接至该第一导引板。11.如申请专利范围第10项之装置,其中该封套包括一对上方与下方可挠性片,经由彼等使该第二持器与该等持器元件分别密合地安装在该第一导引板及该第二与第三导引板之上。12.如申请专利范围第9项之装置,其中该第一持器与该第二持器系以相反方向同步地垂直移动而使该第一及第二两持器中有一者上升时,另一者为下降。13.如申请专利范围第10项之装置,其中该第一持器与该第二持器系以相反方向同步地垂直移动而使该第一及第二两持器中有一者上升时,另一者为下降。14.如申请专利范围第11项之装置,其中该第一持器与该第二持器系以相反方向同步地垂直移动而使该第一及第二两持器中有一者上升时,另一者为下降。15.如申请专利范围第9项之装置,其中该持器提举机构包括一对封合壳套,彼此以预定距离相隔开且系位于冲洗槽底部之近处,其中该持器提举机构包括一对第一偏心凸轮、一对第二偏心凸轮、一对第三偏心凸轮、一对第一导引板、一对第二导引板及一对第三导引板,该等第一、第二、与第三偏心凸轮对及该等第一、第二与第三导引板对都是配置在该个别封合壳套对之内,该等第二与第三偏心凸轮对系安置在该第一偏心凸轮对之相反两侧,且该等第一、第二与第三导引板对系分别连接至该等第一、第二与第三偏心凸轮对且在该等第一、第二与第三偏心凸轮对转动时呈垂直地移动,其中该持器提举机构包括一第一管件,其系以水密性方式在该对封合壳套之间延展着,一第一回转致动器,其系装在该第一管件之内且连接至该对第一偏心凸轮;一第二管件,其系以水密性方式在该对封合壳套之间延展着及一第二回转致动器,其系装在该第二管件之内且连接至该第二偏心凸轮对,其中该持器提举机构更包括一第三管件,其系以水密性方式在该封合壳套对之间延展,及一驱动轴,其延伸通过该第三管件,该第三偏心凸轮对系连接至该驱动轴,该驱动轴系以其一端联结至该第二回转致动器,由而使该驱动轴与该第二回转致动器呈同步地转动,其中该第一持器系由两持器元件所构成,于其间夹置着该第二持器,该两持器元件中有一者系在该第二导引板对之间延展着,而另一持器元件系在该第三导引板对之间延展着,且其中该第二持器系在该第三导引板对之间延展着。16.如申请专利范围第9项之装置,其中该第二持器系由一垂直延伸穿通的中心开口所形成,且该持器提举机构包括一浮动元件,其可浮在该冲洗液体上面且其具有一三角形边缘顶部其系插置在该中央开孔内且经调适成可经由其浮力而与该基板之下端接触。17.如申请专利范围第10项之装置,其中该第二持器系由一垂直延伸穿通的中心开口所形成,且该持器提举机构包括一浮动元件,其可浮在该冲洗液体上面且其具有一三角形边缘顶部其系插置在该中央开孔内且经调适成可经由其浮力而与该基板之下端接触。18.如申请专利范围第11项之装置,其中该第二持器系由一垂直延伸穿通的中心开口所形成,且该持器提举机构包括一浮动元件,其可浮在该冲洗液体上面且其具有一三角形边缘顶部其系插置在该中央开孔内且经调适成可经由其浮力而与该基板之下端接触。19.如申请专利范围第12项之装置,其中该第二持器系由一垂直延伸穿通的中心开口所形成,且该持器提举机构包括一浮动元件,其可浮在该冲洗液体上面且其具有一三角形边缘顶部其系插置在该中央开孔内且经调适成可经由其浮力而与该基板之下端接触。20.如申请专利范围第13项之装置,其中该第二持器系由一垂直延伸穿通的中心开口所形成,且该持器提举机构包括一浮动元件,其可浮在该冲洗液体上面且其具有一三角形边缘顶部其系插置在该中央开孔内且经调适成可经由其浮力而与该基板之下端接触。21.如申请专利范围第14项之装置,其中该第二持器系由一垂直延伸穿通的中心开口所形成,且该持器提举机构包括一浮动元件,其可浮在该冲洗液体上面且其具有一三角形边缘顶部其系插置在该中央开孔内且经调适成可经由其浮力而与该基板之下端接触。22.如申请专利范围第15项之装置,其中该第二持器系由一垂直延伸穿通的中心开口所形成,且该持器提举机构包括一浮动元件,其可浮在该冲洗液体上面且其具有一三角形边缘顶部其系插置在该中央开孔内且经调适成可经由其浮力而与该基板之下端接触。图示简单说明:第一图A至第一图E示范说明根据本发明方法的原理;第二图为根据本发明第一实施例的乾燥装置之示意垂直断面图;第三图为第二图中所示乾燥装置之示意平面图;第四图为沿第二图中的线4-4采取之断面图;第五图为沿第二图中的线5-5采取之断面图;第六图为第一持器之前观图;第七图为第六图中所示第一持器之平面图;第八图为第六图中所示第一持器之侧视图;第九图为该第一持器所具衆列晶圆固持沟槽之放大图;第十图为第二持器的前视图;第十一图为第十图中所示第二持器之平面图;第十二图为第十图中所示第二持器之侧视图;第十三图A与第十三图B显示出从第一持器所具沟槽分离出晶圆之方式;第十四图为根据本发明第二实施例的乾燥装置之示意断面图;第十五图为第十四图所示乾燥装置之示意平面图;第十六图为沿第十五图中的线16-16所采取之断面图;第十七图为根据本发明第三实施例的乾燥装置之示意断面图;第十八图为第十七图中所示乾燥装置之示意平面图;第十九图为沿第十七图中的线19-19采取之断面图;第二十图为沿第十九图中的线20-20采取之断面图;第二十一图为沿第十九图中的线21-21采取之断面图;第二十二图为显示一联结机构连接方式之透视图;第二十三图A与第二十三图B为第二持器之侧面图与平面图;第二十四图为浮动元件之透视图;第二十五图显示出该浮动元件的操作方式;第二十六图显示出位于第十七图中的中心处之导引板的操作方式;第二十七图A显示出位于第十七图中的右侧处之导引板的操作方式;第二十七图B显示出位于第十七图中的左侧处之导引板的操作方式;第二十八图阐示出习知的乾燥方法之一例子;第二十九图阐示出习知的乾燥方法之另一例子;第三十图阐示出习知的乾燥方法之又另一例子;第三十一图A为先前技艺中所用持器之前视图;第三十一图B为沿第三十一图A中的线31B-31B采取之断面图;及第三十二图显示出晶圆与持器所具固持晶圆用的沟槽衔接之方式。 |
