| 发明名称 | 用于抑制铁电电容器器件中的接触插头中的氧化的装置和方法 | ||
| 摘要 | 铁电电容器器件及其制造方法，包括形成基板和形成穿过基板的接触插头。电绝缘层形成在基板上，且第一电极形成在电绝缘层上。铁电层形成在第一电极上，且第二电极形成在铁电层上。接着，第一电极通过电绝缘层电连接至插头。 | ||
| 申请公布号 | CN100419956C | 申请公布日期 | 2008.09.17 |
| 申请号 | CN200480032560.X | 申请日期 | 2004.09.09 |
| 申请人 | 因芬奈昂技术股份有限公司 | 发明人 | 连静宇 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01) | 主分类号 | H01L21/02(2006.01) |
| 代理机构 | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 余刚;李丙林 |
| 主权项 | 1. 一种制造器件的方法，包括以下步骤：形成基板；形成穿过所述基板的接触插头；在所述基板上形成电绝缘层；在所述电绝缘层上形成第一电极；在所述第一电极上形成介电层；在所述介电层上形成第二电极；通过电绝缘层使所述第一电极电连接至所述插头；蚀刻所述电连接；以及在所述电连接之上形成间层介电层。 | ||
| 地址 | 德国慕尼黑 | ||