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发明名称
摘要
申请公布号 JP4149843(B2) 申请公布日期 2008.09.17
申请号 JP20030114657 申请日期 2003.04.18
申请人 发明人
分类号 H01L21/28;H01L21/8238;H01L27/092;H01L29/423;H01L29/49 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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