发明名称 |
具有抗反射特性及高碳含量之聚合物,包含其之硬质罩幕组成物,以及形成图案化材料层之方法 |
摘要 |
一种抗反射硬质罩幕组成物,其包括有一有机溶剂、一起始剂与至少一以化学式A、B或C来表示之聚合物:#P 096151445P01.bmp#P 096151445P02.bmp#P 096151445P03.bmp |
申请公布号 |
TW200837097 |
申请公布日期 |
2008.09.16 |
申请号 |
TW096151445 |
申请日期 |
2007.12.31 |
申请人 |
第一毛织股份有限公司 |
发明人 |
尹敬皓;金锺涉;鱼东善;吴昌一;邢敬熙;金旼秀;李镇国 |
分类号 |
C08G61/02(2006.01);G03F7/11(2006.01);G03F7/004(2006.01);H01L21/027(2006.01) |
主分类号 |
C08G61/02(2006.01) |
代理机构 |
|
代理人 |
恽轶群;陈文郎 |
主权项 |
|
地址 |
韩国 |