| 摘要 |
本发明的目的是提供一种乾洗器，能够良好地除去在基板的表面上所附着的附着物。在用于除去被吐出物体10上的附着物之乾洗器中，包括：喷嘴16，其与被吐出物体保持规定的间隔而配置着，并在内部具有贮留压缩空气的贮留部16a，且具有与该贮留部连通的狭缝状的吐出口16b，而且，作为与吐出口形成位置上的吐出口延伸之方向直交的断面形状，喷嘴16具有规定曲率的凸形状16c，而且，吐出口被设置在与被吐出物体最接近的位置上；罩壳18，其在内部收纳前述喷嘴并具有开口部18a，用于使从喷嘴的吐出口沿着对被吐出物体大致直交的方向吐出的压缩空气，和扫过被吐出物表面的压缩空气通过，罩壳18形成沿着喷嘴的具有规定曲率的凸形状行进之压缩空气所行进的通路18b；以及排气部18c，其用于排出压缩空气，该压缩空气沿着具有规定曲率的凸形状而行进。 |
