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发明名称
用来侦测灯是否失效的侦测器
摘要
本发明揭示了一种对于一灯阵列之侦测灯失效的装置和方法,其中该灯阵列用于快速热处理系统。该灯失效侦测系统使能识别多个灯中的失效灯,并提供失效类型的识别。该装置应用一灯失效侦测方法到经过每个灯测得的电压降值,以确定一灯是否处于失效状态。在一个实施方式中,场可编程闸阵列被用来应用一失效侦测方法到灯电压值。
申请公布号
TW200838359
申请公布日期
2008.09.16
申请号
TW097100425
申请日期
2008.01.04
申请人
应用材料股份有限公司
发明人
希莉布莱诺夫欧佳V;高汀亚历山大;拉尼思乔瑟夫迈可
分类号
H05B39/00(2006.01)
主分类号
H05B39/00(2006.01)
代理机构
代理人
蔡坤财;李世章
主权项
地址
美国
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