| 摘要 |
于接合装置中，在接合时于引线路径有效除去引线表面之异物。将引线12插通于设于接受电浆用气体供给部34供给电浆用气体且接受电浆产生用高频电力供给部32供给高频电力之电浆产生室41之绝缘衬套43、45之导引孔44、46。引线12为接地状态，使高频电力在引线12与电浆产生室之间流通而在电浆产生室内部将电浆用气体电浆化后洗净引线12。使引线送出部侧之导引孔44之孔径大于接合工具侧之导引孔46之孔径，以使从引线送出部侧之导引孔44流出之引线洗净后之气体流量大于从接合工具侧之导引孔46流出之引线洗净后之气体流量。 |
