制作光学元件封盖之方法

摘要

提供一具有复数个通孔之晶圆，并将一玻璃晶圆置于晶圆上。之后提供一具有复数个凹槽之电极板置于玻璃晶圆上，其中凹槽对应于晶圆之通孔，使得电极板在对应通孔之位置未与玻璃晶圆接触。最后，提供一电压源，并分别将晶圆与电极板与电压源之二电极电性连接，利用阳极接合方式接合晶圆与玻璃晶圆，而形成复数个光学元件封盖。