蒸镀装置、蒸镀装置之控制装置、蒸镀装置之控制方法及蒸镀装置之使用方法

摘要

蒸镀装置10具备第1处理容器100与第2处理容器200，内装于第1处理容器100之吹出器110与内装于第2处理容器200之蒸镀源210是藉由连结管220互相连结。在第1处理容器100连接有排气机构以将其内部抽真空至企望的真空度。被蒸镀源210气化之有机分子透过连结管220由吹出器110吹出而吸附于基板G上面，藉此，在基板G上形成薄膜。藉由分开设置第2处理容器200与第1处理容器100，在补充成膜材料时，因为不将第1处理容器100内部对大气开放，所以可以提升排气效率。