| 发明名称 |
APPAREIL DE CARACTERISATION OPTIQUE DU DOPAGE D'UN SUBSTRAT |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
FR2902575(B1) |
申请公布日期 |
2008.09.05 |
| 申请号 |
FR20060005329 |
申请日期 |
2006.06.14 |
| 申请人 |
ION BEAM SERVICES SOCIETE ANONYME |
发明人 |
TORREGROSA FRANCK;ROUX LAURENT |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N21/21;H01J37/317 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
