发明名称 |
半导体装置结构及半导体装置 |
摘要 |
本发明涉及半导体装置结构及半导体装置。在半导体基板(2)的正上方形成由多个单位电阻(3a)构成的电阻层(3),在其上形成用于进行各单位电阻(3a)连接配线的金属配线层(4)。各单位电阻(3a)的端部通过金属配线层(4)配线连接,成为所定电阻值。在金属配线层(4)形成MIM电容器(7)的一电极,电介质层(5)密接在金属配线层(4)上,再在该电介质层(5)上密接金属膜(6)。在金属膜(6)上形成金属配线层(9),金属膜(6)和金属配线层(9)用通孔(8)连接,金属配线层(9)构成MIM电容器(7)的另一电极。能得到不限制电阻和电容器连接、芯片面积小的半导体装置结构及半导体装置。 |
申请公布号 |
CN101257021A |
申请公布日期 |
2008.09.03 |
申请号 |
CN200810080665.2 |
申请日期 |
2008.02.28 |
申请人 |
株式会社理光 |
发明人 |
伊藤弘造;川本和弘 |
分类号 |
H01L27/06(2006.01);G05F1/56(2006.01) |
主分类号 |
H01L27/06(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
王冉;杨梧 |
主权项 |
1.一种半导体装置结构,包括:半导体基板;电阻层,形成在所述半导体基板上,所述电阻层具有配置在其中的电阻;电容层,形成在所述电阻层上,所述电容层具有电容器,与电阻电气连接。 |
地址 |
日本东京都 |