双抗谐振反射光波导马赫任德干步式感测器

摘要

本发明之双抗谐振反射光波导(ARROW)马赫任德干涉式感测器的用途在侦测外在环境的折射率变化，以供化学和生化感测之用。此一感测元件系由分光区域、感测区域及合光区域等三个区域构成，其中分光与合光区域的结构为具高耦合效率的双抗谐振反射光波导，而感测区域则是不耦合之双抗谐振反射光波导。藉由调整结构之对称性以控制其耦合行为，可达成小巧且不使用弯折结构之积体化马赫任德干涉式感测器。