发明名称 Self aligned method of forming a semiconductor memory array of floating gate memory cells with low resistance source regions and high source coupling, and a memory array made thereby
摘要
申请公布号 KR100855885(B1) 申请公布日期 2008.09.03
申请号 KR20010058313 申请日期 2001.09.20
申请人 发明人
分类号 H01L27/115;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/8239;H01L21/8247;H01L29/423;H01L29/76;H01L29/788;H01L29/792 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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