| 发明名称 | 保护膜及其支架 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种保护膜及其支架，所述保护膜包括所述支架和粘附于所述支架上的薄膜，所述支架的侧壁具有开口，此外，在所述开口处具有气体过滤装置。本发明的保护膜及其支架，安装了气体过滤装置，可以防止空气中的某些特定气体进入保护膜内，并在光照下发生反应，生成导致掩膜版雾化的反应物，从而有效地改善了掩膜版的雾化现象。 | ||
| 申请公布号 | CN101256352A | 申请公布日期 | 2008.09.03 |
| 申请号 | CN200710037744.0 | 申请日期 | 2007.02.26 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 刘戈炜 |
| 分类号 | G03F1/14(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/027(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G03F1/14(2006.01) |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李文红 |
| 主权项 | 1. 一种保护膜，所述保护膜包括支架和粘附于所述支架上的薄膜，所述支架的侧壁具有开口，其特征在于：在所述开口处还具有气体过滤装置。 | ||
| 地址 | 201203上海市浦东新区张江路18号 | ||