一种超塑性纳米Si<SUB>3</SUB>N<SUB>4</SUB>基陶瓷材料及其制备方法

摘要

本发明公开一种超塑性纳米Si₃N₄基陶瓷材料。所述超塑性纳米Si₃N₄基陶瓷材料，由非晶或晶态纳米氮化硅粉体、纳米氮化铝粉体、纳米碳化硅粉体、纳米氧化铝和纳米氧化钇烧结助剂粉体混合而成。其制备方法是：采用热压烧结或放电等离子烧结；烧结过程与普通氮化硅烧结一样，需抽真空后充入氮气保护；烧结工艺参数为：a热压烧结：烧结温度为1500～1800℃，烧结压力＞15MPa，保温时间20min～120min；b放电等离子烧结：烧结温度为900～1300℃，烧结压力＞10MPa，保温时间5s～10min。超塑性纳米Si₃N₄基陶瓷材料晶粒直径在50nm－200nm之间，可热压成型或超塑性成形，解决了复杂形状陶瓷零件难于成形的问题。

主权项

1.一种超塑性纳米Si3N4基陶瓷材料，其特征是：所述超塑性纳米Si3N4 基陶瓷材料，为非晶或晶态纳米氮化硅粉体、纳米氮化铝粉体、纳米碳化硅粉体、纳米氧化铝和纳米氧化钇烧结助剂粉体混合而成；各粉体的平均晶粒直径为10～100nm，所占质量百分比为：纳米Si3N4：50％～80％；纳米AlN：5％～15％；纳米SiC：5％～15％；纳米Al2O3：5～10％；纳米Y2O3：5～10％。